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高纯度电子级氢氟酸工序_广东晴轩
作者:晴轩化工     宣布日期:2019-05-08     阅读次数:     

因各微电子出产企业对电子级彩88:氢氟酸请求的规范差别,可将其分别为四种子类目:

  1 高级产物,用于>1.2μmIC工艺手艺的建造

  2 中高级产物,合用于0.81.2μmIC工艺手艺的建造

  3 中高级产物,合用于0.20.6μmIC工艺手艺的建造

  4 高级产物(UPss),合用于0.090.2μm<0.09μmIC工艺手艺的建造。

  对高纯度氢氟酸的制作首要包含三大步骤:第一项是对原始资料停止开端处置,分为物理处置和化学处置,

  第二项起头对纯度不太高的酸停止蒸馏提纯。

  第三项经由过程膜的物理过滤道理去掉份子布局较小的杂质。操纵中响应装备的运转和操纵须要慎密连系能力削减因为操纵失误或不够切确对氢氟酸的提取发生影响。凡是采用直线式的设置体例,以垂直流向为主。无水氟化氢或氢氟酸在下层,氢氟酸提纯在中层,过滤、包装及储存在底层。

  经由过程如许的提纯体例能够节俭本钱,进步效力,进步纯度

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